华海清科获得发明专利授权：“一种应用于晶圆加工设备的安全控制系统”

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种应用于晶圆加工设备的安全控制系统”，专利申请号为CN202211399814.8，授权日为2026年5月15日。

专利摘要：本发明公开了一种应用于晶圆加工设备的安全控制系统，包括安全门开关、控制模块、安全继电器和伺服驱动器，安全门开关与控制模块连接，控制模块与安全继电器连接，安全继电器与伺服驱动器连接，安全门开关输出双路开关信号和锁闭信号至控制模块，控制模块输出锁定解锁命令至安全门开关，控制模块根据所述双路开关信号和锁闭信号输出STO信号至安全继电器，安全继电器输出动作信号至伺服驱动器，伺服驱动器基于其工作状态输出STO反馈信号至控制模块。

今年以来华海清科新获得专利授权32个，较去年同期减少了13.51%。结合公司2025年年报财务数据，2025年公司在研发方面投入了5.37亿元，同比增40.63%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目262次；财产线索方面有商标信息92条，专利信息809条，著作权信息32条；此外企业还拥有行政许可36个。

数据来源：天眼查APP

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