汇成真空获得发明专利授权：“一种<010>择优取向的β-Ga2O3薄膜的制备方法”

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示汇成真空（301392）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种<010>择优取向的β-Ga₂O₃薄膜的制备方法”，专利申请号为CN202211280072.7，授权日为2026年4月10日。

专利摘要：本发明涉及一种<010>择优取向的β?Ga2O3薄膜的制备方法，具体步骤如下：1)将玻璃基板预处理后放入沉积腔体内，并将沉积腔体抽真空至10Pa以下；2)向沉积腔体内通入稀释气体使沉积腔体内达到沉积压强，关闭稀释气体，然后将原料罐内前驱体加热至升华温度，打开激光照射玻璃基板表面，使玻璃基板达到沉积温度，同时向沉积腔体内通入载气和反应气进行沉积，在玻璃基板上沉积得到β?Ga2O3薄膜。本发明采用激光化学气相沉积法，通过调整实验参数控制薄膜的取向，在低成本的石英玻璃基板表面成功制备出<010>择优取向的β?Ga2O3多晶薄膜，对于拓宽β?Ga2O3多晶薄膜的应用范围具有十分重要的意义。

今年以来汇成真空新获得专利授权7个，较去年同期减少了73.08%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1582.85万元，同比减19.16%。

通过天眼查大数据分析，广东汇成真空科技股份有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目110次；财产线索方面有商标信息6条，专利信息198条，著作权信息7条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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